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Eine Flüssigkeitsbearbeitungsvorrichtung enthält: einen Bearbeitungsteil (80), der aufgebaut ist, um das zu bearbeitende Objekt mit einer Bearbeitungsflüssigkeit zu bearbeiten; einen Zuführweg (1), der mit dem Bearbeitungsteil (80) verbunden ist, wobei der Zuführweg (1) aufgebaut ist, um die Bearbeitungsflüssigkeit zum Bearbeitungsteil (80) zu führen; einen Lösungsmittelzuführteil (7), der aufgebaut ist, um ein Lösungsmittel zum Zuführweg (1) zuzuführen; und einen Zuführteil der chemischen Flüssigkeit (5), der aufgebaut ist, um die chemische Flüssigkeit zum Zuführweg (1) über einen Zuführweg der chemischen Flüssigkeit so zuzuführen, dass eine chemische Flüssigkeit, die mit dem Lösungsmittel verdünnt ist, hergestellt wird. Ein Messteil (10), der aufgebaut ist, um eine Leitfähigkeit der mit dem Lösungsmittel verdünnten chemischen Flüssigkeit zu messen, ist in dem Zuführweg an einer Position stromabwärts eines Verbindungspunkts (25a, 35a, 45a), mit dem der Zuführweg der chemischen Flüssigkeit (6) verbunden ist, angeordnet. Ein Zuführteil der zusätzlichen chemischen Flüssigkeit (1), der aufgebaut ist, um eine zusätzliche chemische Flüssigkeit, die sich von der chemischen Flüssigkeit unterscheidet, über einen Zuführweg der zusätzlichen chemischen Flüssigkeit (3) zuzuführen, ist mit dem Zuführweg an einer Position stromabwärts eines Messpunkts (10a), an dem der Messteil (10) angeordnet ist, verbunden.
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