Einrichtung und Verfahren zur Bestimmung der räumlichen Lage bewegter Elemente einer Koordinaten-Messmaschine

摘要

Es sind eine Einrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der räumlichen Lage mindestens eines bewegten Elements (9, 20) einer Koordinaten-Messmaschine (1) offenbart. Dabei richtet mindestens ein Laser-Interferometer (24) einen Messstrahl (23) auf das bewegte Element (9, 20). Mindestens ein Laser-Interferometer richtet einen weiteren Messstrahl auf das bewegte Element, um eine Drehung des bewegten Elements (9, 20) um eine X-Koordinatenrichtung oder um eine Y-Koordinatenrichtung oder um eine Z-Koordinatenrichtung zu ermitteln.