Halbleiterchip mit Sensorelementen und dynamischer Halbleitersensorchip und Verfahren zu deren Herstellung,申请号DE2001130713-传众专利搜索

发明名称	Halbleiterchip mit Sensorelementen und dynamischer Halbleitersensorchip und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号	DE10130713(B4)	申请公布日期	2009.04.09
申请号	DE2001130713	申请日期	2001.06.26
申请人	DENSO CORP.	发明人	SAKAI, MINEKAZU;SUGITO, HIROSHIGE;MUTO, HIROSHI;ITO, MOTOKI;FUKADA, TSUYOSHI
分类号	G01L1/14;H01L21/78;B81B3/00;B81C1/00;G01C19/56;G01P9/04;G01P15/08;G01P15/125;H01L21/301;H01L29/84	主分类号	G01L1/14
代理机构		代理人
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