PLASMA BEHANDLUNGSAPPARAT,申请号DE20006041641-传众专利搜索

发明名称	PLASMA BEHANDLUNGSAPPARAT
摘要
申请公布号	DE60041641(D1)	申请公布日期	2009.04.09
申请号	DE20006041641	申请日期	2000.04.14
申请人	NGK INSULATORS LTD.	发明人	KAWAKAMI, SATORU;IWABUCHI, KATSUHIKO;KUWAJIMA, RYO;USHIKOSHI, RYUSUKE;YAMADA, NAOHITO;KAWAJIRI, TETSUYA
分类号	H01L21/205;H01L21/302;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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