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发明名称 Poliervorrichtung
摘要
申请公布号 DE60041671(D1) 申请公布日期 2009.04.09
申请号 DE20006041671 申请日期 2000.03.06
申请人 EBARA CORP. 发明人 SAKURAI, KUNIHIKO;TOGAWA, TETSUJI;TAKADA, NOBUYUKI;WAKABAYASHI, SATOSHI;SAITO, KENICHIRO;SEKIMOTO, MASAHIKO;HAYAMA, TAKUJI;KOGA, DAISUKE
分类号 B08B3/02;B08B11/00;B23Q7/02;B24B37/04;H01L21/306 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
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