Verfahren zum Herstellen einer Speicherzelle, Speicherzelle sowie integrierte Schaltung

摘要

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird ein Verfahren zum Herstellen einer Speicherzelle bereitgestellt, die eine mit metallischem Material dotierte Festkörperelektrolytschicht sowie einer Elektrodenschicht, die oberhalb der Festkörperelektolytschicht angeordnet ist, aufweist. Das Verfahren weist auf: Dotieren einer Festkörperelektrolytschicht mit metallischem Dotiermaterial und Erzeugen einer Elektrodenschicht oberhalb der Festkörperelektrolytschicht, wobei das Dotieren der Festkörperelektrolytschicht vor dem Erzeugen der Elektrodenschicht ausgeführt wird.