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发明名称 Teilchenstrahlbelichtungssystem und Vorrichtung zur Strahlbeeinflussung
摘要
申请公布号 DE602005012945(D1) 申请公布日期 2009.04.09
申请号 DE200560012945T 申请日期 2005.07.20
申请人 CARL ZEISS SMS GMBH 发明人 PLATZGUMMER, ELMAR DR.;STENGL, GERHARD
分类号 H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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