| 摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf einen kapazitiven Flüssigkeitsstandsdetektor, insbesondere auf einen Flüssigkeitsstandsdetektor für Direktmethanolbrennstoffzellen. In der vorliegenden Erfindung bildet die Flüssigkeit selbst eine zweite Platte eines kapazitiven Detektors. Die erste Platte ist mit einer dielektrischen Dünnfilmschicht bedeckt, die auf der ersten Platte durch ein Dünnfilmabscheideverfahren abgeschieden worden ist. Dieser dünne Film erlaubt eine Verringerung des Abstandes zwischen den Platten und erhöht die Kapazität des Detektors. Zusätzlich erlaubt die Verwendung einer dielektrischen Dünnfilmschicht die Verwendung von dielektrischen Materialien, die eine hohe dielektrische Konstante aufweisen. Die erste Platte und die dielektrische Dünnfilmschicht bedecken einen offenen Teil eines Behälters und sind am Behälter durch Mittel zur Versiegelung befestigt. |
