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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltung auf einem Halbleiterplättchen
摘要
申请公布号 DE102004055213(B4) 申请公布日期 2009.04.09
申请号 DE200410055213 申请日期 2004.11.16
申请人 ATMEL GERMANY GMBH 发明人 BROMBERGER, CHRISTOPH
分类号 H01L21/8222;H01L27/082;H01L29/732 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
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