Musterausbildungsverfahren unter Anwendung einer lichtinduzierten Ätzunterdrückung,申请号DE1999638428T-传众专利搜索

发明名称	Musterausbildungsverfahren unter Anwendung einer lichtinduzierten Ätzunterdrückung
摘要
申请公布号	DE69938428(T2)	申请公布日期	2009.04.09
申请号	DE1999638428T	申请日期	1999.07.20
申请人	QINETIQ LTD.	发明人	EASON, ROBERT WILLIAM;BARRY, IAN ERIC;SMITH, PETER GEORGE ROBIN;ROSS, GRAEME WILLIAM
分类号	C03C15/00;H01L21/306;C04B41/53;C30B33/00;C30B33/08;G11B7/26;H01L21/3063	主分类号	C03C15/00
代理机构		代理人
主权项
地址