| 发明名称 | 飞秒激光对非晶合金的无晶化微细加工方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种飞秒激光对非晶合金的无晶化微细加工方法，该方法利用飞秒激光对非晶合金进行打孔、刻线、切割，打孔时飞秒激光的脉冲能量密度为50～100J/cm<sup>2</sup>，脉冲宽度45～100fs；刻线时飞秒激光的脉冲能量密度为3～15J/cm<sup>2</sup>、脉冲宽度45～100fs、扫描速度为100～200μm/s；切割时飞秒激光的脉冲能量密度为75～110J/cm<sup>2</sup>、脉冲宽度45～100fs、扫描速度为100～200μm/s。本发明的加工精度可以达亚微米级，在刻线区域无晶化现象发生。 | ||
| 申请公布号 | CN100475433C | 申请公布日期 | 2009.04.08 |
| 申请号 | CN200610125079.6 | 申请日期 | 2006.11.20 |
| 申请人 | 华中科技大学 | 发明人 | 陆培祥;王新林;廖常锐;戴能利;杨光;李玉华 |
| 分类号 | B23P23/00(2006.01)I;B23H7/02(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;B23K26/00(2006.01)I | 主分类号 | B23P23/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 华中科技大学专利中心 | 代理人 | 朱仁玲 |
| 主权项 | 1.一种飞秒激光对非晶合金的无晶化微细加工方法，其特征在于：先对非晶合金进行线切割；再利用飞秒激光对非晶合金打孔，飞秒激光的脉冲能量密度为50～100J/cm2，脉冲宽度45～100fs，中心波长为800nm，重复频率为1KHz。 | ||
| 地址 | 430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 | ||