发明名称 |
指示器的形成方法 |
摘要 |
本发明提供一种指示器的形成方法,包括下列步骤:提供一块状材料;形成多个贯穿孔于该块状材料中;以及分割该块状材料以成为多个分离的构件,每个构件包括一个上述贯穿孔,其中每个构件形成该指示器的围封物,该指示器是用来对于一可消耗材料的厚板接近或已经减少至该可消耗材料的一既定量发出信号。本发明所述的指示器的形成方法,可降低物理气相沉积靶材的消耗成本,制造成本以及增加获利。 |
申请公布号 |
CN100476018C |
申请公布日期 |
2009.04.08 |
申请号 |
CN200610152333.1 |
申请日期 |
2006.09.26 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
萧义理;余振华;汪青蓉;许呈锵 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所 |
代理人 |
刘新宇 |
主权项 |
1.一种指示器的形成方法,其特征在于,该指示器的形成方法包括下列步骤:提供一块状材料;形成多个贯穿孔于该块状材料中;分割该块状材料以成为多个分离的构件,每个构件包括一个上述贯穿孔,其中每个构件形成该指示器的围封物;以及在该围封物之中提供一发出信号的元件,以形成该指示器,并且该发出信号的元件是细丝元件、电极元件、气体材料、液体材料或固体材料,该指示器是用来对于一可消耗材料的厚板接近或已经减少至该可消耗材料的一既定量发出信号,并且该指示器嵌入于该可消耗材料的厚板。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号 |