发明名称 分隔半导体晶片的隔板
摘要 一种半导体晶片隔板(10),由含有耗材的聚乙烯材料制成,且包括第一组和第二组模压切割平行线。第一组切割线通常与第二组垂直,且每组包含成对的切割线,与相邻线对隔开。切入材料的格线深度允许空气流动、循环并解除真空。
申请公布号 CN100477099C 申请公布日期 2009.04.08
申请号 CN200480043589.8 申请日期 2004.08.17
申请人 伊利诺斯器械工程公司 发明人 瓦罗里斯·L.·弗西斯;桑德林·沙里耶
分类号 H01L21/30(2006.01)I 主分类号 H01L21/30(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 张敬强
主权项 1.一种分隔半导体晶片的隔板,该隔板由静电耗材组成,并包括切割线,其中切割线的两端终止在所述隔板的周边上,所述的切割线设计为第一组切割线和第二组切割线,其中所述的第一组切割线垂直于第二组切割线。
地址 美国伊利诺伊州