胶体溶液的过滤方法

摘要

此前，CMP等机械加工产生的排水是CMP游浆中含磨料微粒的胶体溶液，无有效的过滤方法。本发明提供一种胶体溶液的过滤方法，对含胶体溶液微粒的排水，利用抽吸在第1过滤器1的表面上形成的凝胶膜构成的第2过滤器2进行过滤。此时，加入凝聚剂或pH调节剂，使胶体溶液微粒形成易于凝胶化的凝聚粒子，进行抽吸过滤，从而即使凝胶化困难的肢体溶液也能进行过滤。

主权项

1.一种胶体溶液的过滤方法，其特征在于，在胶体溶液中设置第1过滤器，向胶体溶液中加入促进胶体状被去除物凝聚的添加物，生成上述被去除物的凝聚粒子且不生成沉降，通过上述第1过滤器抽吸上述胶体溶液，将上述被去除物的凝聚粒子抽吸到第1过滤器的表面上，将凝聚粒子成膜形成第2过滤器，通过上述第2过滤器抽吸胶体溶液，使上述被去除物的凝聚粒子一边以凝胶膜的形式附着在上述第2过滤器上一边增加其厚度，其中，第2过滤器是在选择上述第2过滤器成膜时的过滤量和通过上述第2过滤器抽吸时的过滤量大致达到等量的抽吸压力下进行成膜的。