| 发明名称 | 基板载置台及基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种难以产生升降销对载置台本体的损伤的基板载置台。在基板处理中载置基板的基板载置台(4)包括载置台本体(4a)；和垂直地插入载置台本体(4a)中、设置为可自由升降以在载置台本体(4a)的表面上突出和没入、以其前端支承和升降基板的升降销(30)，其中，升降销(30)可处于没入在载置台本体(4a)内的退避位置；和从载置台本体(4a)突出、支承基板(G)的支承位置上，其具有弯折部(35)，当升降销(30)位于支承位置上，将比升降销(30)变形的力小的规定大小的横向力施加在载置台本体(4a)的表面位置或其上方位置时，该弯折部(35)弯折。 | ||
| 申请公布号 | CN100477147C | 申请公布日期 | 2009.04.08 |
| 申请号 | CN200710088378.1 | 申请日期 | 2007.03.16 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 潮田穰一;伊藤毅 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/311(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | 1、一种基板载置台，在基板处理装置中载置基板，其特征在于，包括：载置台本体；和升降销，铅直地通插在所述载置台本体中，设置为可自由升降以相对于所述载置台本体的表面突出和没入，以其前端支承和升降基板；其中，所述升降销可处于没入在所述载置台本体内的退避位置；和从所述载置台本体突出、支承基板的支承位置上，其具有弯折部，当所述升降销位于所述支承位置上时，该弯折部位于所述载置台本体的表面位置或其上方位置，当施加有比所述升降销变形的力小的规定大小的横向力时，该弯折部弯折。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||