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发明名称
Device for treatment of integrated circuits
摘要
申请公布号
EP1429371(B1)
申请公布日期
2009.04.08
申请号
EP20030016958
申请日期
2003.07.25
申请人
ATLANTIC ZEISER GMBH
发明人
BERNDTSSON, ANDERS
分类号
H01L21/00;G06K7/00;G06K19/07;H05K1/18;H05K3/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
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