光刻设备和器件制造方法以及测量系统

摘要

本发明涉及光刻设备，它包括：辐射系统，用以提供投影辐射线束；投影系统，用以把投影线束投影在衬底的目标部分上；运动物体；位移装置，用以使运动物体在第一方向和不同于第一方向的第二方向上相对于投影系统运动；和测量装置，用以测量运动物体在基本上垂直于第一方向和第二方向的第三方向上的位移。按照本发明的光刻设备的特征在于包括编码器系统。

主权项

1.一种光刻设备，它包括：辐射系统，用以提供投影辐射线束；投影系统，用以把所述投影辐射线束投影在衬底的目标部分上；运动物体；位移装置，用以使所述运动物体基本上在第一方向和不同于第一方向的第二方向上相对于所述投影系统运动；测量装置，用以测量所述运动物体在基本上垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上的位移，其特征在于，所述测量装置包括编码器系统，所述编码器系统包括：线束源，用以产生第一线束，所述第一线束是偏振辐射线束并射向所述运动物体；第一光栅，它固定在所述运动物体上并适合于接收所述第一线束，并把所述第一线束分成至少一个作为所述第一线束的一次线束的第二线束和一个作为所述第一线束的负一次线束的第三线束，所述第一光栅是反射光栅；右第二光栅，它适合于接收所述第二线束并把所述第二线束分成至少一个作为所述第二线束的一次线束的第四线束和一个作为所述第二线束的负一次线束的第五线束；左第二光栅，它适合于接收第三线束，并把所述第三线束至少分成一个作为所述第三线束的负一次线束的第六线束和一个作为所述第三线束的一次线束的第七线束；所述右和左第二光栅设置在所述线束源的相对的两侧，并且所述右和左第二光栅均为透射光栅；右屋脊型棱镜，用于在与所述第二线束的方向相反的方向上引导所述第四线束，并使所述第四线束处在偏离所述第二线束一段偏移距离的位置上；左屋脊型棱镜，用于在与所述第三线束的方向相反的方向上引导所述第六线束，并使所述第六线束处在偏离所述第三线束一段偏移距离的位置上；右λ/4板，它是各向异性光学元件，用以把所述第四线束的线性偏振转为圆形偏振；左λ/4板，它是各向异性光学元件，用以把所述第六线束的线性偏振转为圆形偏振；右第三光栅，它适合于接收所述第四线束，并把所述第四线束分成至少一个作为所述第四线束的负一次线束的第八线束和一个作为所述第四线束的一次线束的第九线束；左第三光栅，它适合于接收所述第六线束，并把所述第六线束分成至少一个作为所述第六线束的负一次线束的第十线束和一个作为所述第六线束的一次线束的第十一线束；所述右和左第三光栅设置在所述线束源的相对的两侧，并且所述右和左第三光栅均为透射光栅，所述右和左第三光栅被设置成分别与所述右和左第二光栅对齐；第四光栅，它适合于接收所述第八线束，并把所述第八线束至少分成一个作为所述第八线束的一次线束的第十二线束和一个作为所述第八线束的负一次线束的第十三线束，并适合于接收所述第十线束，并把所述第十线束至少分成一个作为所述第十线束的负一次线束的第十四线束和一个作为所述第十线束的一次线束的第十五线束，所述第四光栅被设置成与所述第一光栅对准，所述第四光栅是反射光栅，并且这样设置所述第四光栅使得所述第四光栅和所述右和左第三光栅之间的距离分别与所述第一光栅和所述右和左第二光栅之间的距离大致相等，使得所述第八线束和所述第十线束基本上在同一位置上射在所述第四光栅上，使得所述第十二线束和所述第十四线束之间出现干涉；传感器装置，用以检测干涉的所述第十二线束和所述第十四线束辐射强度的变化，并把所述变化与所述第一线束发生相对于第一光栅的位移时出现在所述第二线束中的相对于第一线束的相移和所述第三线束中的相对于所述第一线束的相移相联系。