发明名称 |
三元铝合金薄膜和靶 |
摘要 |
提供了平板显示器制造用的物理蒸气沉积靶。该靶包括一种三元合金体系,该体系以原子百分率计有数量约90~99.98的第一组分,其中第一组分是铝;数量约0.01~2.0的第二组分,其中第二组分是一种选自Nd、Ce、Dy和Gd组成的一组的稀土元素;和数量约0.01~8.0的第三组分,其中第三元素选自Ni、Co、Mo、Sc、和Hf。 |
申请公布号 |
CN101405430A |
申请公布日期 |
2009.04.08 |
申请号 |
CN200780010340.0 |
申请日期 |
2007.03.28 |
申请人 |
普莱克斯技术有限公司 |
发明人 |
J·萨卡;C·罗;P·S·吉尔曼 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01)I;C03C17/09(2006.01)I;C22C21/00(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
刘元金;林 森 |
主权项 |
1.一种平板显示器制造用物理蒸气沉积靶,包含:一种三元合金体系,包含以原子%计,数量约90~99.98的第一组分,其中第一组分是铝;数量约0.01~2.0的第二组分,其中第二组分是一种稀土元素,选自Nd、Ce、Dy和Gd组成的一组;和数量约0.01~8.0的第三组分,其中第三元素选自Ni、Co、Mo、Sc、和Hf组成的一组。 |
地址 |
美国康涅狄格州 |