发明名称 配线板、半导体设备以及制造配线板和半导体设备的方法
摘要 本发明公开了配线板、半导体设备以及制造配线板和半导体设备的方法。该方法提供以下步骤:在支撑件的表面上设置介电层和配线层以形成中间体,从中间体上去除支撑件以获得配线板,以及在形成中间体的步骤之前对支撑件的表面进行粗糙化处理。
申请公布号 CN101404259A 申请公布日期 2009.04.08
申请号 CN200810169503.6 申请日期 2008.10.06
申请人 新光电气工业株式会社 发明人 金子健太郎
分类号 H01L21/48(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/58(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H05K3/00(2006.01)I;H05K3/30(2006.01)I;H05K1/02(2006.01)I;H05K1/18(2006.01)I 主分类号 H01L21/48(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人 顾红霞;彭 会
主权项 1.一种制造配线板的方法,包括以下步骤:对支撑件的表面进行粗糙化处理,以形成粗糙表面;在所述支撑件的粗糙表面上设置介电层和配线层,以形成中间体;以及从所述中间体上去除所述支撑件,以获得配线板。
地址 日本长野县