发明名称 |
配线板、半导体设备以及制造配线板和半导体设备的方法 |
摘要 |
本发明公开了配线板、半导体设备以及制造配线板和半导体设备的方法。该方法提供以下步骤:在支撑件的表面上设置介电层和配线层以形成中间体,从中间体上去除支撑件以获得配线板,以及在形成中间体的步骤之前对支撑件的表面进行粗糙化处理。 |
申请公布号 |
CN101404259A |
申请公布日期 |
2009.04.08 |
申请号 |
CN200810169503.6 |
申请日期 |
2008.10.06 |
申请人 |
新光电气工业株式会社 |
发明人 |
金子健太郎 |
分类号 |
H01L21/48(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/58(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H05K3/00(2006.01)I;H05K3/30(2006.01)I;H05K1/02(2006.01)I;H05K1/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/48(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 |
代理人 |
顾红霞;彭 会 |
主权项 |
1.一种制造配线板的方法,包括以下步骤:对支撑件的表面进行粗糙化处理,以形成粗糙表面;在所述支撑件的粗糙表面上设置介电层和配线层,以形成中间体;以及从所述中间体上去除所述支撑件,以获得配线板。 |
地址 |
日本长野县 |