发光二极管的制造方法

摘要

一种用于制造发光二极管的方法。首先提供发光二极管外延片，此发光二极管外延片包含第一基材及外延层。平坦化发光二极管外延片的外延层的表面。至少在部分平坦化的表面上形成一欧姆接触层。形成金属光反射层覆盖欧姆接触层与发光二极管外延片。在金属光反射层上形成扩散障碍层。接合第二基材到扩散障碍层上，接着移除第一基材。

主权项

1.一种发光二极管的制造方法，包含：提供发光二极管外延片，所述发光二极管外延片包含第一基材及外延层；平坦化所述发光二极管外延片的外延层的表面；至少在部分平坦化的表面上形成一欧姆接触层；形成一金属光反射层覆盖所述欧姆接触层与所述外延层；利用接合层将所述发光二极管外延片与第二基材接合在一起；以及移除所述第一基材。