紫外线照射装置

摘要

提供一种紫外线照射装置，固定紫外线灯的基板不会变形，能够将紫外线灯与处理物的分离距离保持恒定，能够均匀地处理被加热物。本发明的紫外线照射装置，具有管形的紫外线灯(1)，该紫外线照射装置(D1)配置在上方具有开口的处理室(9)的上部，其特征在于，包括支撑紫外线灯(1)的基板(2)、用于使紫外线灯(1)点亮的点亮单元(41、42)、以及设置有点亮单元(41、42)的架设板(5)，基板(2)的紫外线灯(1)管轴方向的两端(A)设置在支撑体(93)上，该支撑体(93)支撑设置在处理室(9)的紫外线照射装置，架设板(5)的部分与基板(2)分离，架设板(5)的自身重量施加到支撑体(93)上。

主权项

1.一种紫外线照射装置，具有管形的紫外线灯，该紫外线照射装置配置在上方具有开口的处理室的上部，该紫外线照射装置的特征在于，包括支撑紫外线灯的基板、用于使紫外线灯点亮的点亮单元以及设置有该点亮单元的架设板，上述基板的紫外线灯管轴方向的两端设置在支撑体上，该支撑体支撑设置在处理室的紫外线照射装置，上述架设板的中央部分与上述基板分离，上述架设板的自身重量施加到上述支撑体上。