测量工件的装置和方法

摘要

一种利用安装在坐标定位装置的构件上的扫描头部上的表面感测设备测量表面的方法和装置。可以操作坐标定位装置，以在扫描头部和表面轮廓之间产生相对运动，并且扫描头部包括驱动件，用来产生表面感测探头围绕一个或多个轴的转动。驱动该坐标定位装置，以在所述构件和所述表面轮廓之间产生沿着环形路径的相对运动，并驱动扫描头部，围绕所述一个或多个轴移动表面感测设备，使得所述表面感测设备保持导程角名义上恒定。坐标定位装置和扫描头部的运动同步。

主权项

1.一种利用安装在坐标定位装置的构件上的扫描头部上的表面感测设备来测量表面轮廓的方法，其中，可以操作坐标定位装置，以在扫描头部和表面轮廓之间产生相对运动，并且扫描头部包括驱动件，用来产生表面感测探头围绕两个轴的转动，所述方法包括以下步骤：驱动坐标定位装置，以在所述构件和所述表面轮廓之间产生沿着弧形、环形或螺旋形路径的相对运动；驱动扫描头部，以使所述表面感测设备围绕一个或多个轴运动，使得导程角名义上恒定；其中，所述坐标定位装置和扫描头部的运动同步。