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发明名称
Method and apparatus for pulsed laser deposition using dielectric barrier discharge and metal oxide thin film fabricated by the method
摘要
申请公布号
KR100999013(B1)
申请公布日期
2010.12.09
申请号
KR20080067793
申请日期
2008.07.11
申请人
发明人
分类号
C23C14/28
主分类号
C23C14/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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