| 发明名称 | 一种单晶炉真空管路 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种单晶炉真空管路，该单晶炉真空管路包括真空计与抽气管道，真空计通过软管与抽气管道相接。采用本实用新型，由于真空计通过软管连接抽气管道，单晶炉中水管产生的水凝不会直接滴到真空计上，同时，在清扫时不会碰到真空计，因此间接提高了真空计的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN201665726U | 申请公布日期 | 2010.12.08 |
| 申请号 | CN201020138697.6 | 申请日期 | 2010.03.23 |
| 申请人 | 浙江矽盛电子有限公司 | 发明人 | 郜勇军;郑裕财;夏安阳 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人 | 舒良 |
| 主权项 | 一种单晶炉真空管路，包括真空计与抽气管道，其特征在于真空计通过软管与抽气管道相接。 | ||
| 地址 | 324300 浙江省开化县工业园区园三路1号 | ||