空间光变频器的检查装置及检查方法、照明光学系统、照明光学系统的调整方法、曝光装置、以及器件制造方法

摘要

本发明提供一种检查装置，其能够随时检查例如配置于照明光学系统的光路中的空间光变频器的反射镜部件的反射率。本发明是对具有被二维排列且被独立控制的多个光学部件的空间光变频器进行检查的检查装置(10)，其具备：共轭光学系统(11、12)，其配置于空间光变频器的光学上的下游侧，形成与多个光学部件所被排列的排列面在光学上共轭的共轭面；光检测器(13)，其具有配置于上述共轭面或其附近的检测面；检查部(14)，其基于光检测器的检测结果检查多个光学部件的光学特性。

主权项

一种检查装置，是对具有被二维排列且被独立控制的多个光学部件的空间光变频器进行检查的检查装置，其特征在于，所述检查装置具备：共轭光学系统，其配置于所述空间光变频器的光学上的下游侧，形成与所述多个光学部件所被排列的排列面在光学上共轭的共轭面；光检测器，其具有配置于所述共轭面或其附近的检测面；检查部，其基于所述光检测器的检测结果，检查所述多个光学部件的光学特性。