对准标记布局和对准标记结构

摘要

本发明的优选实施例提供了一种对准标记布局和对准标记结构。该对准标记布局包含：第一对准图案，包含多条相互平行的第一条状结构，第一对准图案设于基底上，其中各条第一条状结构各包含第一尺寸；以及第二对准图案，设于第一对准图案上并且与第一对准图案重叠，第二对准图案包含多条相互平行的第二条状结构，其中各条第二条状结构各包含第二尺寸，其中各条第二条状结构的第二尺寸大于各条第一条状结构的第一尺寸。根据本发明的实施例，增加对准对比度和对准精确度。

主权项

一种对准标记布局，其特征在于包含：第一对准图案，包含多条相互平行的第一条状结构，该第一对准图案设于基底上，其中各这些第一条状结构各包含第一尺寸；以及第二对准图案，设于该第一对准图案上并且与该第一对准图案重叠，该第二对准图案包含多条相互平行的第二条状结构，其中各这些第二条状结构各包含第二尺寸，其中各这些第二条状结构的该第二尺寸大于各这些第一条状结构的该第一尺寸。