多光束钻孔系统

摘要

本发明涉及一种于一基板(44)中具有变化同时性的激光钻孔方法，包含：操作一激光(22)，以产生一单一输出光束(24)，该单一输出光束(24)的多个脉波具有一总能量；以随时间变化的一程度，划分该单一输出光束为多个光束(41)；以及施加该多个光束至该基板上的多个钻孔位置(209、210、212、214、216、218、220、222)，包含：利用该多个光束中具有一脉波能量的相应光束，同时钻制多个孔的第一部分，该脉波能量是该总能量的一第一分率；以及，此后利用该多个光束中分别具有一脉波能量的至少一个光束，钻制该多个孔至少其中之一的至少一第二部分，该脉波能量是该总能量的至少一第二分率，该第二分率是不同于该第一分率。

主权项

一种于一基板中具有变化同时性的激光钻孔方法，包含：操作一激光，以产生一单一输出光束，该单一输出光束的多个脉波具有一总能量；以随时间变化的一程度，划分该单一输出光束为多个光束；以及施加该多个光束至该基板上的多个钻孔位置，包含：利用该多个光束中具有一脉波能量的相应光束，同时钻制多个孔的第一部分，该脉波能量是该总能量的一第一分率；以及此后，利用该多个光束中分别具有一脉波能量的至少一个光束，钻制该多个孔至少其中之一的至少一第二部分，该脉波能量是该总能量的至少一第二分率，该第二分率系不同于该第一分率。