一种白光干涉光学轮廓仪

摘要

本发明公开了一种白光干涉光学轮廓仪，包括垂直方向宏微二级驱动及位移计量装置、白光干涉位移传感器和万能工作台。白光干涉位移传感器固定在驱动及位移计量装置上，驱动及位移计量装置固定在立柱上，立柱固定在隔振台面上；万能工作台放置在隔振台面上；本发明的基于白光干涉和垂直扫扫描技术的大量程三维光学轮廓测量仪由伺服电机和压电陶瓷分别实现粗精二级驱动，带动白光干涉位移传感器做整体运动，在垂直位移中加入伺服电机可以扩大测量范围，垂直扫描由压电陶瓷驱动实现。宏微位移由同一套衍射光栅计量系统进行位移计量。该轮廓仪可以自动找干涉条纹，实现大量程、非接触测量平面和曲面的三维轮廓，具有测量精度高、测量量程大、成本低等特点。

主权项

一种白光干涉光学轮廓仪，包括垂直方向宏微二级驱动及位移计量装置和白光干涉位移传感器，其特征在于：白光干涉位移传感器固定在垂直方向宏微二级驱动及位移计量装置上，垂直方向宏微二级驱动及位移计量装置固定在立柱(26)上，立柱(26)固定在隔振台面(5)上；万能工作台放置在隔振台面(5)上；万能工作台(4)包括工作台底座(41)、平衡弹簧(42)、锁紧螺母(43)、关节轴承(44)、回转轴(45)、旋转载物台(46)、端盖(47)、基座(48)、钢球(49)和直线电机(50)；基座(48)固定在工作台底座(41)上，回转轴(45)的一端置于基座(48)内孔中，另一端与旋转载物台(46)固定连接，端盖(47)、关节轴承(44)和锁紧螺母(43)自上至下依次安装在回转轴(45)上；平衡弹簧(42)一端与回转轴(45)的底部连接，另一端安装在基座(48)上；直线电机的驱动杆(50)和平衡弹簧(42)分别位于回转轴(45)底部的两侧。