中空阳极等离子体反应器与方法

摘要

等离子体处理设备包括等离子体室、第一电极、第二电极与等离子体容器设备。等离子体容器设备具有多个槽并且电连接到第一电极。容器设备用于将等离子体限制在中间电极空间内，并且有利于最大程度的处理气体流动。当在中间电极空间内通过将电场应用于处理气体而产生等离子体时，容器设备将等离子体电子地限制在中间电极空间而没有显著的限制来自中间电极空间的气体的流动。

主权项

一种等离子体约束系统，包括：电气接地；与所述电气接地连接的等离子体室；与所述等离子体室连接的真空泵；与所述等离子体室连接的处理气体源；第一电极，具有面对所述等离子体室的内部的表面；第二电极，具有面对所述等离子体室的所述内部的表面，所述表面邻近并基本平行于所述第一电极；设置在所述第一和第二电极之间的室壳体空间；靠近所述室壳体空间设置的第二空间，其中所述室壳体空间和所述第二空间通过与所述室壳体空间和所述第二空间均邻近的一侧分隔开；以及包括所述一侧的容器设备，所述容器设备基本上密封所述室壳体空间并与所述电气接地电气连接，所述一侧包括至少一个允许气体在所述室壳体空间和第二空间之间流动的轨道，所述至少一个轨道用来保持所述室壳体空间和第二空间中的至少一个的压力水平。