基底处理装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种基底处理装置以及一种制造基底处理装置的方法。加工设备的加工单元得到模块化，并且得到模块化的加工单元可拆除地被布置在主框架中。根据这一特征，可以减少制造加工设备所需的作业时间和工作量。另外，还可以很容易地完成每一个加工单元的保养/维修。

主权项

一种基底处理装置，包括：加工设备，在其中进行基底处理过程；以及布置在加工设备前侧处的设备前端模块，所述设备前端模块将基底装载到加工设备内或从加工设备中卸载基底，其中，加工设备包括：主框架；以及可拆除地被布置在主框架上的多个加工单元，所述多个加工单元中的每一个加工单元是成独立模块式地进行设置，以使得根据基底处理过程的功能而相互起作用的多个部件被布置在一个独立壳体内；其中，所述加工单元包括：垂直于设备前端模块进行布置的基底传送单元，该基底传送单元对基底进行传送；以及平行地布置在基底传送单元两侧处的多个基底处理单元，所述多个基底处理单元对基底进行处理。