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发明名称 Ion implantation method and apparatus
摘要
申请公布号 EP1580789(A3) 申请公布日期 2010.12.08
申请号 EP20040023084 申请日期 2004.09.28
申请人 NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD. 发明人 MATSUMOTO, TAKAO;NAGAI, NOBUO
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01J37/147;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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