声表面波装置

摘要

本发明提供一种声表面波装置，是使用LiNbO3基板的声表面波装置，不仅IDT的反射系数大，而且电机械耦合系数k2大，且可以扩大实现该电机械耦合系数k2大的范围的LiNbO3基板的欧拉角范围。该声表面波装置(1)在LiNbO3基板(2)的上表面(2a)形成有多条槽(2b)，且设有具有在向多条槽(2b)填充的金属材料所形成的多根电极指的IDT(3)，该金属材料由Pt或W或者以这些金属至少一种为主体的合金形成。

主权项

一种声表面波装置，其特征在于，具备：由LiNbO3基板形成，且在上表面形成有多条槽的压电基板；以及具有由在所述压电基板的上表面的多条槽中所填充的金属材料形成的多根电极指的IDT，所述金属材料为选自Pt或W中的一种金属或者以这些金属至少一种为主体的合金形成。