一种制备纳米材料的真空管式炉

摘要

本发明公开了一种制备纳米材料的真空管式炉，它包括密封的真空室(2)，所述真空室(2)设置在炉体(1)内，真空室(2)内气流下游处设置有衬底(7)，其特征是：该真空室(2)连接有至少一个能控制和调节源材料蒸发速率的源材料蒸发器(16)，所述源材料蒸发器(16)连接在真空室(2)垂直于气流方向的一端。本发明采用控制源组分通量技术，可实现组分的精确控制、梯度掺杂和衬底的原位操作等功能；全系统由计算机控制，因此自动化程度高、控制精度高、数据的准确性强；该设备还具有设备简单、结构紧凑、操作简便、使用费用低等、生产效率高、节约能源优点。

主权项

一种制备纳米材料的真空管式炉，它包括密封的真空室(2)，所述真空室(2)设置在炉体(1)内，所述真空室(2)设有用于输送源材料蒸气的载气系统(11)和用于与源材料蒸气反应的载气系统(12)，真空室(2)内气流下游处设置有衬底(7)，其特征是：该真空室(2)连接有大于一个能控制和调节源材料蒸发速率的源材料蒸发器(16)，所述源材料蒸发器(16)连接在真空室(2)垂直于气流方向的一端。