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经营范围
发明名称
Substrate carrier
摘要
申请公布号
EP2088621(B1)
申请公布日期
2010.12.08
申请号
EP20080002322
申请日期
2008.02.08
申请人
RENA GMBH
发明人
RENN, SIEGFRIED
分类号
H01L21/677
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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