极紫外辐射源和用于产生极紫外辐射的方法

摘要

一种辐射源，所述辐射源被构造且被布置以产生极紫外辐射。所述辐射源包括：腔；第一电极，所述第一电极被至少部分地包含在所述腔中；第二电极，所述第二电极被至少部分地包含在所述腔中；和供给装置，所述供给装置被构造且被布置以提供放电气体至所述腔。所述第一电极和所述第二电极被配置以在所述放电气体中产生放电以形成等离子体，以便产生所述极紫外辐射。所述源还包括气体供给装置，所述气体供给装置被构造且被布置以在靠近所述放电的位置处提供分压在约1Pa和约10Pa之间的气体。所述气体被从由氢气、氦气以及氢气和氦气的混合物组成的组中选出。

主权项

一种辐射源，所述辐射源被构造且被布置以产生极紫外辐射，所述辐射源包括：腔；第一电极，所述第一电极被至少部分地包含在所述腔中；第二电极，所述第二电极被至少部分地包含在所述腔中；供给装置，所述供给装置被构造且被布置以提供放电气体至所述腔，所述第一电极和所述第二电极被配置以在所述放电气体中产生放电以形成等离子体，以便产生所述极紫外辐射；和气体供给装置，所述气体供给装置被构造且被布置以在靠近所述放电的位置处提供分压在约1Pa和约10Pa之间的气体，所述气体被从由氢气、氦气以及氢气和氦气的混合物组成的组中选出。