由断热材、热屏罩、反射板组成的单晶炉装置

摘要

本实用新型涉及一种由断热材、热屏罩、反射板组成的单晶炉装置硅单晶制造装置，其包括设置在石英坩埚上方围绕晶棒且下部直径小于上部直径的热屏，使用了至少以降低消耗电力为目的的断热材和以提高晶棒冷却效果提高拉晶速度为目的的反射板，通过将晶棒表面的辐射热向上反射，达到提高晶棒冷却的效果，由此能够实现拉晶速度的提高，进而达到缩短拉晶时间，从而提高生产效率的功效。也就是说，本实用新型采用在现有的热屏结构的内侧直接放置有反射板，不需要重新设置连接部，实现方便，且结构简单。还有，本实用新型的断热材的外部都包覆有物质(如热屏罩或石墨布)，防止垃圾掉入石英坩埚。

主权项

一种由断热材、热屏罩、反射板组成的单晶炉装置，包括热屏和石英坩埚，其特征在于，所述热屏是由断热材、热屏罩、反射板组成，断热材设置在石英坩埚的上方，其下部直径小于上部直径，断热材的外侧被热屏罩覆盖，内侧直接放置有反射板，反射板环绕拉晶中的晶棒，反射板与断热材之间未预留空间。