| 发明名称 | 纳米结构体的制造方法和设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供了纳米结构体的制造方法和设备。本发明涉及一种形成纳米结构体或纳米材料的方法。所述方法包括在基底(15)上设置热控制阻挡层(17)并形成所述纳米结构体或纳米材料。所述方法，例如，可以用于通过使用含碳气体等离子的等离子增强化学气相沉积来形成碳纳米管。在形成所述碳纳米管的过程中，所述基底(15)的温度可以保持在低于350℃。 | ||
| 申请公布号 | CN101213321B | 申请公布日期 | 2010.12.08 |
| 申请号 | CN200680020804.1 | 申请日期 | 2006.05.11 |
| 申请人 | 萨里纳米系统有限公司 | 发明人 | 森布提拉切莱格·拉维·希尔瓦;本·保罗·延森;陈冠佑 |
| 分类号 | C23C16/26(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 丁香兰;谢栒 |
| 主权项 | 一种形成纳米结构体或纳米材料的方法，所述方法包括以下步骤：在基底上设置热控制阻挡层；从上方对所述热控制阻挡层进行额外加热；和通过使用气体等离子的等离子增强化学气相沉积在所述热控制阻挡层上形成所述纳米结构体或纳米材料。 | ||
| 地址 | 英国苏塞克斯 | ||