图案检查装置

摘要

本发明的课题是，使布线部分与树脂薄膜部分的对比度增加，而可以通过反射照明容易地检测出布线图案。形成有布线图案的TAB带(5)，从送出卷线机(11)被卷出而送到检查部(1)。在检查部(1)中，用反射照明单元(1a)照明，用摄像单元(1b)来拍摄TAB带(5)上的检查图案。被拍摄的检查图案的图像被送到控制部(4)，与基准图案比较来判断图案是否合格。反射照明单元(1a)的光源，例如为仅发射波长大于等于500nm的光的例如红外LED。因为仅用透过TAB带(5)的波长大于等于500nm的光照射，故可以得到对比度优良的图像。另外，使载物台(1c)的红外线反射率小于等于10％，或不设置载物台(1c)，能够得到对比度更优良的图像。

主权项

一种图案检查装置，用照明光照射形成在聚酰亚胺系的树脂薄膜的TAB带上的布线图案，并拍摄来自该图案的反射光，来检查上述图案的外观，其特征在于，具备：照明单元，具有发射红外光的LED；和摄像单元，相对于上述树脂薄膜、设置在与上述照明单元同一面侧，具有对红外光区域有感光度的CCD或CMOS。