倍半硅氧烷树脂

摘要

本发明涉及可用于抗反射涂层的倍半硅氧烷树脂，其中该倍半硅氧烷树脂的通式为：(PhSiO(3-x)/2(OR′)x)m(HSiO(3-x)/2(OR′)x)n(MeSiO(3-x)/2(OR′)x)o(RSiO(3-x)/2(OR′)x)p其中Ph是苯基，Me是甲基，R选自反应性有机官能团或可固化基团，R′是氢基或具有1-4个碳原子的烃基，x的数值为0、1或2，m的数值为0.01-0.97，n的数值为0.01-0.97，o的数值为0.01-0.97，p的数值为0.01-0.97，和m+n+o+p≈1。当在升高的温度下烘烤时，该树脂固化。或者，该组合物可包含自由基引发剂或其他添加剂，例如热或光酸和碱，以改进树脂的固化曲线。另外，在作为193nm ARC材料的倍半硅氧烷树脂内存在氢基对于所需的剥离能力来说是重要的。

主权项

一种具有下述通式的倍半硅氧烷树脂：(PhSiO(3 x)/2(OR′)x)m(HSiO(3 x)/2(OR′)x)n(MeSiO(3 x)/2(OR′)x)o(RSiO(3 x)/2(OR′)x)p其中Ph是苯基，Me是甲基，R选自反应性有机官能团或可固化基团，R′是氢基或具有1 4个碳原子的烃基，x的数值为0、1或2，m的数值为0.01 0.97，n的数值为0.01 0.97，o的数值为0.01 0.97，p的数值为0.01 0.97，和m+n+o+p≈1。