薄膜形成装置

摘要

一种薄膜形成装置，该薄膜形成装置在减压下将材料溶液从喷射头喷出并涂布在基板上形成薄膜时，不仅实现了膜厚的均匀性，而且还能在不影响喷出涂布的功能的情况下简单地安装各结构。本发明的薄膜形成装置的特征在于，由多个喷射头、涂布溶液收纳容器、基板搬运台和减压室构成，其中，所述这些喷射头将材料溶液从以一定间隔形成的多个喷嘴喷出并涂布于基板，所述涂布溶液收纳容器利用喷嘴面与液面的水位差对所述喷射头供给材料溶液，所述基板搬运台承载所述基板并使其水平移动，所述减压室包括收容所述喷射头、涂布溶液收纳容器和基板搬运台的减压单元，将直接连接于所述喷射头的所述涂布溶液收纳容器设置在相同的减压环境下。

主权项

一种薄膜形成装置，其特征在于，由多个喷射头、涂布溶液收纳容器、基板搬运台、系统控制装置和减压室构成，其中，所述这些喷射头将材料溶液从以一定间隔形成的多个喷嘴喷出并涂布于基板，所述涂布溶液收纳容器利用喷嘴面与液面的水位差对所述喷射头供给材料溶液，所述基板搬运台承载所述基板并使其水平移动，所述系统控制装置具有对所述喷射头的喷出进行控制的喷射头控制器和一边使所述基板搬运台移动一边对位置进行检测从而进行反馈控制的工作台控制器，所述减压室包括收容所述喷射头、涂布溶液收纳容器和基板搬运台的减压单元，所述薄膜形成装置将直接连接于所述喷射头的所述涂布溶液收纳容器设置在相同的减压环境下。