加热腔室及等离子体增强化学气相沉积装置

摘要

本发明公开了一种加热腔室及等离子体增强化学气相沉积装置，包括装载基片的载板，载板的下部固定有温度变形器件，载板的下方侧面对应于温度变形器件的位置设有测量光栅。温度变形器件能随载板的温度变化产生不同的变形，温度变形器件形变通过光栅的光量改变而捕捉，进而测量载板的温度。可以提高测温精度；对于温度过高的情况，可以测热电偶无法承受的区域温度。可以用于PECVD系统或其它需要在腔室内采用上下两层红外加热的系统，测量误差较小。

主权项

一种加热腔室，包括装载基片的载板，其特征在于，所述载板的下部固定有温度变形器件，所述载板的下方侧面对应于所述温度变形器件的位置设有测量光栅。