一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置

摘要

一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置，包括一个双频激光头，在双频激光头的激光束输出方向上配置有第一分束器，在第一分束器的反射光束方向配置有光束转折器，在第一分束器的透射光束方向配置有第二分束器，第二分束器的透射、反射光束方向上配置有偏振分光棱镜，偏振分光棱镜的透射、反射光束方向配置角锥棱镜，偏振分光棱镜的反射、透射光束的汇合方向配置有光接收器，通过两个不同能量透射比的分束器和光束转折器将双频激光头输出的激光光束分成三束光能量相等的透射、反射转向平移和反射光束，且为分别垂直于光束的传播方向的正交偏振光，三路外差干涉测量光路的位移获得可动互感线圈质心的位移，本发明具有可多通道复用、信号噪声小的特点。

主权项

一种能量天平可动互感线圈的位移测量装置，包括一个纵向塞曼双频激光头(1)，其特征在于：在纵向塞曼双频激光头(1)的激光束输出方向上配置有第一分束器(2)，在第一分束器(2)的反射光束方向配置有光束转折器(4)，在第一分束器(2)的透射光束方向配置有第二分束器(3)。