从硅烷蒸馏釜液中回收硅烷的方法

摘要

本发明公开了一种从硅烷蒸馏釜液中回收硅烷的方法，特点是包括以下步骤：(1)将硅烷蒸馏釜液通过减压阀降压降温；(2)将降压降温后的釜液经过进料阀连续送入第一蒸发罐；(3)将釜液中的硅烷受热蒸发经过蒸汽出口阀进入硅烷净化系统，当第一蒸发罐中的残留釜液的硅烷含量降到10～65％wt时，依次关闭进料阀门和蒸气出口阀；(4)打开残留釜液阀门，残留釜液被压送到第二蒸发罐，在第一蒸发罐中保留一定的液位，关闭残留釜液阀门；(5)将第二蒸发罐中的釜液加热蒸发送入尾气处理系统，优点是降低了硅烷损失，提高了硅烷利用率。

主权项

从硅烷蒸馏釜液中回收硅烷的方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将脱重组分塔中的主要由硅烷和乙硅烷组成的硅烷蒸馏釜液通过减压阀，将压力由0.5～5.0MPaG降为0.05～0.6MpaG，温度由0.5～5.0MPaG压力下的泡点温度降为0.05～0.6MpaG压力下的泡点温度；(2)将进料阀和蒸气出口阀打开，将步骤(1)得到的降压降温后的的硅烷蒸馏釜液连续送入第一蒸发罐；(3)在第一蒸发罐的夹套中充入 50～10℃的有机化合物传热介质，将步骤(2)中送入第一蒸发罐的硅烷蒸馏釜液中的硅烷加热蒸发，由蒸气出口阀门逸出第一蒸发罐，进入硅烷净化系统，当第一蒸发罐中的残留釜液的硅烷含量降到10～65％wt时，依次关闭进料阀门和蒸气出口阀；(4)将残留釜液阀门打开，第一蒸发罐中的残留釜液被压送到第二蒸发罐，所述的第一蒸发罐中的残留釜液液位降至不使第一蒸发罐排净的程度；(5)在第二蒸发罐的夹套中充入10～50℃的有机化合物传热介质，将第二蒸发罐中的残留釜液加热蒸发，通过第二蒸发罐的出气口进入尾气处理系统。