连续或半连续激光沉积的方法和系统

摘要

本发明涉及通过激光蒸发沉积材料的方法，其中所采用的激光器是连续或半连续激光器。使用这样的激光器，可以以受控方式从靶表面的液体或液化靶材料的局部池蒸发靶材料。本发明还提供用于执行所述方法的系统。

主权项

一种用于激光沉积的方法，包括：提供第一激光器(3)，提供沉积腔室，在所述沉积腔室中提供基本上激光蒸发的材料的靶(1)，在所述沉积腔室中提供衬底(2)，将所述沉积腔室抽真空至低于大气压，操作所述第一激光器(3)从而将第一激光束(3’)引向所述靶(1)从而形成激光蒸发材料云(8)，将所述衬底(2)至少部分地设置在激光蒸发材料的所述云(8)内，在所述衬底(2)上沉积所述激光蒸发材料，其特征在于：所述第一激光器(3)是连续或半连续激光器，其中半连续激光器是脉冲激光器，其脉冲频率小于1kHz，脉冲宽度为至少0.0001秒。