激光加工方法、激光加工装置及太阳电池板制造方法

摘要

本发明是有关于一种尽可能地缩短激光束的加工时间的激光加工方法、激光加工装置及太阳电池板制造方法。其中，在对从在玻璃基板上形成透明电极层、半导体层或者金属层的成膜装置依次搬送来的玻璃基板进行激光加工时，对玻璃基板进行对准处理，然后保持并移动玻璃基板。通过将进行此对准处理与保持并移动玻璃基板的平台设置在激光加工平台的两侧两个部位，而于在一平台上进行激光加工的期间，在另一平台上进行对准处理，从而大幅缩短等待时间。而且，即便在任一平台因故障等而停机时，也可以使用另一平台来维持激光加工处理。

主权项

一种激光加工方法，其特征在于：一边依次反复进行以下步骤，一边对从前段装置搬送来的玻璃基板进行激光加工，所述步骤包括：向规定位置对从前段装置搬送来的第1玻璃基板进行对准处理的步骤；一边保持着进行所述对准处理后的所述第1玻璃基板并使所述第1玻璃基板相对地移动，一边照射激光束，由此对所述第1玻璃基板实施激光加工的步骤；在利用所述激光束实施加工的期间，向规定位置对从所述前段装置搬送来的第2玻璃基板进行对准处理的步骤；以及在利用所述激光束进行的加工结束之后搬出所述第1玻璃基板，并且一边保持所述第2玻璃基板并使所述第2玻璃基板相对地移动，一边照射激光束，由此对所述第2玻璃基板实施激光加工。