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发明名称
摘要
申请公布号 JP4596109(B2) 申请公布日期 2010.12.08
申请号 JP20010192791 申请日期 2001.06.26
申请人 发明人
分类号 C23F1/20;G02F1/1343;C09K13/04;C09K13/06;C23F1/26;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3213;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 C23F1/20
代理机构 代理人
主权项
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