发明名称
摘要
申请公布号 JP4595935(B2) 申请公布日期 2010.12.08
申请号 JP20060343963 申请日期 2006.12.21
申请人 发明人
分类号 H01L29/41;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/417;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
地址