| 主权项 |
一种硅微谐振式加速度计，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的加速度计机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，其特征在于：加速度计上层机械结构由质量块(1)和两个谐振器(2a、2b)组成，该两个谐振器(2a、2b)上下对称设置在质量块(1)的中间，该两个谐振器(2a、2b)的一端分别与该两个谐振器(2a、2b)之间的固定基座(4)相连，其中位于上方谐振器(2a)的另一端分别与位于其上方的两个杠杠放大机构(3a、3b)的输出端连接，该两个上方杠杠放大机构(3a、3b)的支点端分别与位于其上方的固定基座(5a)相连，位于下方谐振器(2b)的另一端分别与位于其下方的另外两个杠杠放大机构(3c、3d)的输出端连接，该两个下方杠杠放大机构(3c、3d)的支点端分别与位于其下方的固定基座(5b)相连，四个杠杠放大机构(3a、3b、3c、3d)的输入端分别与所述的质量块(1)连接，该质量块(1)通过四根折叠梁(6a、6b、6c、6d)分别与四个位于该质量块(1)四角的固定基座(7a、7b、7c、7d)相连，所有的固定基座(4、5a、5b、7a、7b、7c、7d)安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上；一对谐振器(2a、2b)的结构参数完全相同，并采用双边驱动方式驱动，一对谐振器(2a、2b)都由音叉(8)和位于音叉(8)两侧的八组线性梳状梳齿(9a、9b、9c、9d、10a、10b、10c、10d)组成，其中靠近音叉(8)的四组梳齿(10a、10b、10c、10d)为检测梳齿，另外四组梳齿(9a、9b、9c、9d)为驱动梳齿；一个驱动电极(11a)给每个谐振器(2a)的两组驱动梳齿(9a、9d)施加带直流偏置的交流电压，另一个驱动电极(11b)给每个谐振器(2a)的另外两组驱动梳齿(9b、9c)施加带直流偏置的反相交流电压，两根敏感输出信号引线(12a、12b)分别将每个谐振器(2a)上的检测梳齿(10a、10b、10c、10d)的信号输出。 |
