真空阀

摘要

一种真空阀，其包括带气门孔的阀体、阀板、阀杆、横向驱动单元、纵向驱动单元、导向装置，其中阀板可从张开位置经中间位置调节到闭合位置中并且可从闭合位置经中间位置调节到张开位置中，在张开位置中阀板释放气门孔，在中间位置中阀板覆盖气门孔但从阀座上抬起，其中可借助于横向驱动单元沿横向于气门孔纵轴线的横向调节方向调节阀板，并且借助于纵向驱动单元沿平行于气门孔纵轴线的纵向调节方向以及反向于纵向调节方向调节阀板，并且借助于导向装置可相对于阀体平行于纵向调节方向移动地导引横向驱动单元，并且在将阀板从其中间位置调节到其闭合位置中以及从其闭合位置调节到其中间位置中时，横向驱动单元相对于阀体平行于纵向调节方向移动。

主权项

真空阀，包括具有气门孔(4)和将所述气门孔(4)包围的阀座(6)的阀体(1)，其中该气门孔(4)具有纵轴线(10)，阀板(8)，该阀板(8)可以从张开位置经过中间位置调节到抵靠着所述阀座(6)的闭合位置中并且可以从所述闭合位置经过所述中间位置调节到所述张开位置中，其中在所述张开位置中所述阀板(8)释放所述气门孔(4)，在所述中间位置中所述阀板(8)覆盖所述气门孔(4)但从所述阀座(6)上抬起，承载着所述阀板(8)的阀杆(11)，横向驱动单元(12)，借助于该横向驱动单元(12)可以将所述阀板(8)沿横向于所述气门孔(4)的纵轴线(10)的横向调节方向(16)从其张开位置调节到其中间位置中以及反向于所述横向调节方向(16)从其中间位置调节到其张开位置中，以及纵向驱动单元(13)，借助于该纵向驱动单元(13)可以将所述阀板(8)沿平行于所述气门孔(4)的纵轴线(10)的纵向调节方向(17)从其中间位置调节到其闭合位置中以及反向于所述纵向调节方向(17)从其闭合位置调节到其中间位置中，其特征在于导向装置(18)，借助于该导向装置(18)可相对于所述阀体(1)平行于所述纵向调节方向(17)移动地对所述横向驱动单元(12)进行导引，其中在将所述阀板(8)从其中间位置调节到其闭合位置中以及从其闭合位置调节到其中间位置中时，所述横向驱动单元(12)相对于所述阀体(1)平行于所述纵向调节方向(17)移动。