发明名称 提高电镀均匀性的方法
摘要 一种提高电镀均匀性的方法,将被电镀物作为阴极置于电镀槽里的电镀液中,在电镀槽里的电镀液中置放与阴极相对的阳极,在被电镀物上的被镀面与阳极之间置放一带有开窗和挡边的挡板,用挡板的挡边阻断绕过挡板边缘的电力线,消除电镀边缘效应,提高电镀层厚度的均匀性。
申请公布号 CN101054701B 申请公布日期 2010.12.08
申请号 CN200710037328.0 申请日期 2007.02.08
申请人 上海美维科技有限公司;上海美维电子有限公司 发明人 程凡雄;宋景勇;黄伟
分类号 C25D5/00(2006.01)I;C25D17/00(2006.01)I 主分类号 C25D5/00(2006.01)I
代理机构 上海开祺知识产权代理有限公司 31114 代理人 李兰英
主权项 一种提高电镀均匀性的方法,是将被电镀物作为阴极置于电镀槽里的电镀液中,在电镀槽里的电镀液中置放与阴极相对的阳极,在被电镀物上的被镀面与阳极之间置放一带有开窗的挡板,其特征在于在挡板的边缘上置放与挡板连在一起的挡边,用挡边消除绕过挡板边缘的电力线。
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